Tail gas treatment equipment can handle gases used in etching processes and chemical vapor deposition processes in the semiconductor, liquid crystal, and solar energy industries, including SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, and so on.
Fomba fitsaboana fitsaboana entona
Araka ny toetoetran'ny fitsaboana ny entona be dia be, ny fitsaboana dia azo zaraina ho karazana fitsaboana efatra:
1. Ny fanasana rano (fitsaboana ny entona korosiana)
2. Karazana oxidizing (fiatrehana ny entona misy poizina sy poizina)
3. Adsorption (araka ny karazana adsorption mba hiatrehana ny entona miforitra).
4.Plasma Compustion Type (Ny karazana gazy rehetra dia azo tsaboina).
Ny karazana fitsaboana tsirairay dia manana ny tombony sy ny tsy fatiantoka manokana ary ny ampahany amin'ny fampiharana azy ihany koa. Rehefa manasa rano ny rano ny fomba fitsaboana dia mora sy tsotra ary tsotra ny fitaovana, ary tsy afaka mitantana ny entona misy rano fotsiny; Ny karazana fampiharana ny rano fanasana herinaratra dia avo kokoa noho ny karazana fanasana rano, fa ny vidin'ny fandidiana dia avo; Ny karazana maina dia manana fahombiazan'ny fitsaboana tsara, ary tsy azo ampiharina amin'ny fikorianan-tsoloka izay mora mora voakaly na mikoriana.
Ny zavatra simika sy ny vokatra ataon'izy ireo matetika ampiasaina amin'ny indostrian'ny semiconductor dia azo voasokajy araka ny fananan'izy ireo simika sy ny tadiny samihafa:
1. Ny entona mirehitra toy ny sih4h2, sns.
2. Ny gazy misy poizina toy ny ASH3, PH3, sns.
3. Ny entona mivaingana toy ny hf, hcl, sns.
4. Greenhouse Gaster toy ny CF4, NF3, sns.
Koa satria manimba ny tontolo iainana na ny vatan'olombelona ny entona efatra etsy ambony, dia tsy maintsy misoroka ny fivoaran'ny mivantana ny semiconductor amin'ny ankapobeny, fa ny rindran-kafatra be dia be, ary ny fampiharana azy dia tsy afaka miatrika ny fizarazarana rano sy ny fizarazarana ara-dalàna. Noho izany, ilaina ny misafidy sy mifanentana amin'ny fitaovana fitsaboana fitsaboana entona mifanaraka amin'ny entona arakaraka ny toetran'ny entona izay avy amin'ny fizotrany tsirairay mba hamahana ny olan'ny gazy amin'ny fomba kely. Rehefa tsy lavitra ny rafitry ny fitsaboana ny entona am-bavany ny ankamaroany dia matetika noho ny toetry ny entona na ny vovoka amin'ny vovoka, ary ny fitrandrahana ny pipeline, ary amin'ny tranga lehibe, dia tsy afaka miantoka ny fiarovana ny asan'ny mpiasa. Noho izany, ao amin'ny sehatry ny asa dia mila manitsy ny fitaovana fitsaboana lafo vidy mety tsara ho an'ny toetran'ny entona mandeha, mba hampihenana ny entona mihamalemy ao amin'ny sehatry ny asa, mba hiantohana ny fiarovana ny mpiasa.
Paositra: Aug-10-2023