Ny gazy fanadiovana lehibe dia ilaina manerana ny rojo famatsiana semiconductor. Raha ny marina, ny foza mahazatra, ny entona fahadiovana avo dia ny fandaniana ara-nofo lehibe indrindra aorian'ny silika ny tenany. Rehefa mifoha amin'ny tsy fahampian'ny Chip manerantany dia mitombo haingana kokoa noho ny taloha ny indostria - ary mihamitombo ny fangatahana entona fahadiovana avo.
Ny entona be dia be indrindra amin'ny famokarana semiconductor dia azota, helium, hidrogen ary argon.
NIthogen
Nitrogen dia mahatratra 78% amin'ny rivo-piainana ary be dia be. Mitranga ihany koa ny simika simika ary tsy misy fomba. Vokatr'izany dia nahita ny fomba indostria maro ny azota azota azy.
Ny indostrian'ny Semiconductor dia mpanjifa Nitrogen lehibe. Ny zavamaniry semiconductor maoderina maoderina dia antenaina hampiasana hatramin'ny natrogen torngen isan'ora isan'ora. Ao amin'ny famokarana semiconductor, ny azota azota dia tanjona ankapobeny amin'ny ankapobeny ary manadio entona, miaro ny silika silika silika amin'ny oksizenina sy ny hamandoana amin'ny rivotra.
hélium
Helium dia entona entona. Midika izany fa, toy ny azota azota, helium dia simika otrikaina - saingy manana tombony fanampiny amin'ny fitondran-tena mafana be izy io. Tena ilaina amin'ny famokarana semiconductor ity, ahafahana mitondra ny hafanana amin'ny fomba mahomby amin'ny dingana avo lenta ary manampy amin'ny fiarovana azy ireo amin'ny fahasimbana mafana sy ny fanehoan-kevitra simika tsy tiana.
hydrogène
Ny hydrogen dia ampiasaina be dia be mandritra ny dingana famokarana elektronika, ary ny famokarana semiconductor dia tsy misy dikany. Ho an'ny tena manokana, ny hydrogen dia ampiasaina amin'ny:
Fitrandrahana: Ny Wafers Wafers dia mazàna mafana amin'ny hafanana avo ary mangatsiaka tsikelikely hanamboarana (anneal) ny rafitra kristaly. Ny hydrogen dia ampiasaina hamindrana ny hafanana amin'ny alàlan'ny wafer sy hanampy amin'ny fanamboarana ny rafitry ny kristaly.
EPITAXY: Ny fahadiovana fahadiovana Ultra-avo dia ampiasaina ho fampihenana ny fampihenana ny famandrihana epitaxial ny fitaovana semiconductor fitaovana toy ny silicon sy alemà.
Fandroahana: Ny hydrogen dia azo atao amin'ny sarimihetsika silikon mba hahatonga ny rafitry ny atomika azy ireo kokoa, ary manampy amin'ny fampitomboana ny teratany.
Ny fanadiovana Plasma: Ny drafitry ny hydrogen dia mahomby indrindra amin'ny fanesorana ny fandotoana ny tin amin'ny loharano maivana ampiasaina amin'ny UV lithografika.
Argon
Argon dia entona mendri-kaja hafa, ka mampiseho ny fiheveran-tena ambany mitovy amin'ny azota azota sy helium. Na izany aza, ny angovo ao amin'ny Ionization ambany Argon dia mahasoa amin'ny fampiharana Semiconductor. Noho ny fanalavirana ny ionization akaiky azy, i Argon dia matetika ampiasaina ho toy ny entona kasety voalohany ho an'ny ENCH sy ny fanehoan-kevitra ao amin'ny fanamboarana semiconductor. Ho fanampin'izany, i Argon dia ampiasaina amin'ny lasantsy excimer ho an'ny UV lithografika.
Maninona no zava-dehibe ny fahadiovana
Matetika ny fandrosoana amin'ny teknolojia ara-pivarotana semiconductor dia tratry ny scaling habe, ary ny taranja vaovao amin'ny teknolojia semiconductor dia aseho amin'ny habe kely kokoa. Mahazo tombony marobe izy io: ireo mpikaroka maro kokoa ao amin'ny boky iray nomena, fanatsarana ny ankehitriny, ny fanjifana herinaratra sy ny fiovan'ny herinaratra haingana kokoa.
Na izany aza, rehefa mihena ny haben'ny krizy dia lasa mihamalalaka hatrany ny fitaovana semiconductor. Ao amin'ny tontolo iray izay misy ny toeran'ny atom-kevitra manokana, ny andiam-pototry ny fahadisoana dia tena tery. Vokatr'izany, ny fizotran'ny semiconductor maoderina dia mitaky entona misy ny gazy miaraka amin'ny fahadiovana avo indrindra.
Wofly dia orinasa manana teknolojia avo lenta amin'ny injeniera rafitra momba ny entona: rafi-pampianarana manokana, rafi-pandotoana laboraly, rafitra fandefasana simika ary vokatra ara-teknika avy amin'ny fifanakalozan-kevitra feno sy ny drafitra, ny famolavolana rafitra, ny famolavolana rafitra, ny famolavolana rafitra, ny famolavolana rafitra, Ny singa mialoha, ny fametrahana sy ny fananganana ny toerana misy ny tetikasa, ny fitsapana rafitra ankapobeny, ny fikojakojana, ny fikojakojana ary ny vokatra manohana hafa amin'ny fomba mitambatra.
Paositra: Jul-11-2023