Rehefa mitombo ny tsenam-barotra semiconductor dia lasa henjana kokoa ny fenitra sy ny fahitsiana. Ny iray amin'ireo antony mamaritra ny hatsaran'ny fanamboarana semiconductor dia ny entona ampiasaina amin'ny dingana. Ireo gazy ireo dia milalao anjara betsaka amin'ny fizotran'ny famokarana, ao anatin'izany:
Fifehezana fizahana mialoha
Fisorohana ny fitrandrahana
Ny fanatsarana fananana Metallurg
Mba hanatanterahana ireo andraikitra ireo dia mahomby ny asa sy ny rafi-pandefasana entona ary ny fizarana fizarana. Ny famolavolana ny rafitry ny fitrandrahana entona ampiasaina amin'ny fanamboarana semiconductor dia tsy maintsy tohanan'ny singa matanjaka ary fivoriambe namboarina mba hiantohana ny famokarana semiconductor.
Entona ampiasaina amin'ny fanamboarana semiconductor
Ny fizotran'ny semiconductor manamboatra dia mitaky ny fampiasana gazy samihafa amin'ny dingana samihafa amin'ny fizotrany.
Na dia ny entona mahazatra toa an'i Nitrogen, hidrogen, argon sy helium dia azo ampiasaina amin'ny endriny madio, ny dingana sasany dia mety mitaky fifangaroana manokana. Silanes na Siloxanes, HexAfluorides, halides ary hydrocarbons dia vitsivitsy amin'ireo entona manokana izay ampiasaina amin'ny fanamboarana semiconductor. Ny maro amin'ireny entona ireny dia mety hampidi-doza na tena repactive, mamorona fanamby amin'ny fisafidianana sy ny famolavolana singa ho an'ny rafitra entona.
Ireto misy ohatra vitsivitsy:
\ Hidrogen sy helium dia afaka miondrika mora foana amin'ny rafitra sy ny rafitra mifanaraka amin'ny habeny sy ny lanjany kely.
\ Silanes dia mirehitra be ary afaka mipetaka amin'ny rivotra (autoignite) eny amin'ny rivotra.
\ Nitrogen difluoride nampiasaina tamin'ny fandroahana, etching sy ny dingana fanadiovana chamber dia lasa entona maoderina be dia be rehefa mivadika amin'ny tontolo iainana.
\ Hidrogen fluoride (etching gas) dia tena manahirana amin'ny fantsom-bolo metaly.
\ Trimethylgallium sy Ammonia dia mety ho sarotra amin'ny fitantanana - ny fihenam-bidy kely amin'ny mari-pana sy ny fanerena azy ireo dia mety hisy fiantraikany amin'ny dingana fandroahana.
Ny fifehezana ny fepetra momba ny fepetra hanalefahana ny voka-dratsy ratsy amin'ireto entona ireto dia tokony ho laharam-pahamehana ambony mandritra ny famolavolana rafitra. Zava-dehibe ihany koa ny fampiasana ireo singa ambony indrindra amin'ny kalitao toy ny vata diaphragm afk diaphragm mandritra ny fizotran'ny fananganana.
Ny olana momba ny famolavolana rafitra
Ny gazy semiconductor dia ao anatin'ny tranga avo lenta ary manome toe-javatra tsy misy fotony na fanatsarana ny fanehoan-kevitra amin'ny dingana samihafa amin'ny dingana famokarana, toy ny gazy etch sy ny gazy etch sy ny gazy etch sy ny gazy etch sy ny gazy etch sy ny gazy etch sy ny gazy etch sy ny gazy etch sy ny gazy etch sy ny entona. Ny lesoka na ny fandotoana ny gazy toy izany dia mety hisy fiantraikany ratsy. Noho izany, dia zava-dehibe ny singa amin'ny rafitra ampiasaina ary ny fanakorontanana an-tsokosoko ary koa ny famaranana ny surkam (polishing elektrika) mba hahazoana antoka fa tsy misy ny fandotoana ary ny fahadiovana avo be dia be.
Ankoatr'izay, ny sasany amin'ireny entona ireny dia azo hasiana na mangatsiaka mba hahatratrarana ny toe-javatra ilaina. Ny singa tsara dia miantoka ny fifehezana ny mari-pana, izay zava-dehibe amin'ny fanatanterahana ny vokatra farany.
Avy amin'ny loharanom-pahalalana, ny singa isan-karazany ao amin'ny AFK dia manohana ny fahadiovana sy ny mari-pana, ny fanerena ary ny fanaraha-maso mikoriana ilaina amin'ny cleoms semiconductor sy efitrano banga.
Rafitra namboarina miaraka amin'ny singa amin'ny kalitao ao amin'ny Fafitry ny Semiconductor
Ny andraikitry ny singa amin'ny kalitao sy ny famolavolana famolavolana dia zava-dehibe amin'ny fanaraha-maso tsara sy ny fanamboarana semiconductor. Ny singa dia tokony hasiana hentitra sy hidradradradra mba hampifanaraka ny toe-javatra isan-karazany ilaina amin'ny dingana samihafa amin'ny fanamboarana ny famokarana.
Fahadiovana avo lenta
Fehezan-kafatra tsy misy fetra
Ny insulation mifehy ny mari-pana
Fanaraha-maso ny tsindry
Fanoherana ny fanenjehana
Fitsaboana poloney elektrikaika
Fotoam-potoana: Oct-09-2023