Manampy an'izao tontolo izao izahay hatramin'ny 1983

Vahaolana momba ny teknolojia ho an'ny rafitry ny fandefasana ny gazy avo lenta ho an'ny fizotran'ny semiconductor

Ny teknolojia fanaingoana entona avo lenta dia ampahany manan-danja amin'ny rafitry ny famatsiana entona avo lenta, izay ny teknolojia manan-danja mba hanaterana ny entona fahaizana avo lenta ilaina amin'ny fampiasana sy ny kalitao mendrika; Ny teknolojia fanaingoana fanadiovana avo lenta dia ahitana ny famolavolana mety amin'ny rafitra, ny fisafidianana ny fitaovana sy ny fitaovana, fananganana ary fametrahana ary fitiliana. Tao anatin'ny taona vitsivitsy izay, ny fepetra takiana amin'ny fahadiovana sy ny votoaty momba ny fahadiovana avo lenta amin'ny famokarana vokatra microelectronics dia nasehon'ny fizarazarana lehibe misy haingam-pandeha lehibe ary ny teknolojia fanabeazana avo lenta dia tsy mitsaha-mitombo ary manantitrantitra. Ity manaraka ity dia fomba fijery fohy momba ny fanaingoana ny entona fanadiovana avo lenta amin'ny fisafidianana fitaovanaof fananganana, ary koa ny fanekena sy ny fitantanana isan'andro.

Karazana entona mahazatra

Fanasokajiana entona mahazatra ao amin'ny indostrian'ny elektronika:

Gazy mahazatra(Gasikara): hidrogen (h2), azrogen (n2), oxygen (o2), Argon (A2), sns.

Gases manokanasih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,levitra,CF4 ,NH3,Pocl3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3,  Bcl3 ,Sif4 ,CLF3 ,mpiara,C2F6, N2o,F2,HF,HBR SF6...... sns.

Ny karazana entona manokana dia mety ho voasokajy ho korrosivemandatsa-dranomaso, Toxicmandatsa-dranomaso, flammablemandatsa-dranomaso, mipetakamandatsa-dranomaso, inertmandatsa-dranomaso, sns. Ny gazy semiconductor mahazatra mahazatra dia samy sokajiana toy izao manaraka izao.

(i) Corrosive / poizinamandatsa-dranomaso: Hcl, bf3, Wf6, HBR, sih2Cl2, NH3, Ph3, Cl2, Bcl3... sns.

(ii) Flammabilitymandatsa-dranomaso: H2, Ch4, Sih4, Ph3, Ash3, Sih2Cl2, B2H6, Ch2F2,Ch3F, Co ... sns.

(iii) combustibilitymandatsa-dranomaso: O2, Cl2, N2O, NF3... etc.

(iv) Inertmandatsa-dranomaso: N2, Cf4, C2F6, C4F8,Sf6, Co2, NE, KR, HE ... sns.

Maro ny gazy semiconductor dia manimba ny vatan'olombelona. Ho an'ny ankamaroany, ny sasany amin'ireny gazy ireny, toa an'i Sih4 Fandresahana an-tsitrapo, raha mbola misy fihetsiky ny oksizenina eny amin'ny rivotra ary manomboka mandoro; sy lavenona3Ny tena poizina, ny fihenam-bidy kely dia mety hiteraka risika ny ain'olombelona, ​​noho ny loza manjo azy, ka avo be ny fepetra takiana amin'ny fiarovana ny rafitra.

Fampiharana ny gazy  

Amin'ny maha-zava-dehibe ny orinasa maoderina, ny vokatra maoderina dia be dia be, ary ny entona mahazatra na ny entona manokana dia ampiasaina amin'ny metaly, ny indostria, ny milina, ny seranana, ny serasera, ny fanamboarana, ny fanamboarana, ny fanamboarana sakafo, fanafody ary fitsaboana. Ny fampiharana ny entona dia misy fiantraikany lehibe amin'ny teknolojia avo lenta amin'ireto sehatra ireto manokana, ary ny entona ara-nofo tsy takatry ny saina na ny entona. Ny filàna sy fampiroboroboana ny sehatra indostrialy vaovao sy ny siansa sy ny teknolojia maoderina, ny vokatra indostrian'ny entona dia azo ampivoarana amin'ny alàlan'ny fiantsonana sy ny fetra amin'ny lafiny isan-karazany, kalitao ary habe sy habe.

Fampiharana entona amin'ny indostrian'ny microelectronics sy ny indostrian'ny semiconductor

Ny fampiasana entona dia nitana andraikitra lehibe tamin'ny fizotran'ny semiconductor, indrindra fa ny fizotran'ny semiconductor dia nampiasaina tamin'ny indostria isan-karazany, avy amin'ny indostria nentim-paharazana, ny indostria micro-electro Ny fahadiovan'ny entona dia misy fiantraikany lehibe amin'ny fanatanterahana ny singa sy ny vokatra vokatra, ary ny fiarovana ny famatsiana entona dia mifandraika amin'ny fahasalaman'ny olona sy ny fiarovana ny fambolena fambolena.

Ny maha-zava-dehibe ny fahadiovana avo lenta amin'ny fitaterana entona lehibe

Eo am-pamitana ny vy vita amin'ny vy sy ny fanamboarana fitaovana, dia tokony hosakanana isaky ny 200g ny entona. Taorian'ny fanodinana vy vy tsy misy stainless, tsy ny velariny ihany no misy simba isan-karazany, fa ao anaty gazy metaly ihany koa no nanala ny entona. Rehefa misy ny fiakarana amin'ny alàlan'ny fantsona, ny sarin'ilay metaly ity ampahany amin'ny entona ity dia hiditra indray ny rivotra, fandotoana ny entona madio. Rehefa kivy ny rivotra ao anaty fantsona, ny fantsona dia manery ny entona ao anaty tsindry, ary rehefa mandalo ny rivotra, ny fantsona dia misy fefin-kitay, ary ny entona voavaha dia miditra amin'ny entona madio ao anaty fantsona. Mandritra izany fotoana izany, miverimberina ny adsorption sy ny vahaolana, ka ny metaly eo amin'ny faritra anatiny ao anaty fantsona dia mamoaka vovony iray ihany koa, ary ity vovoka vita amin'ny vovoka vy ity dia mandoto ny entona madio ao anaty fantsona. Ilaina io toetra io amin'ny fantsona dia ilaina mba hiantohana ny fahadiovan'ny entona fitaterana, izay tsy mitaky hatsaram-panahy be dia be fotsiny ny ao anaty fantsona, fa fanoherana ihany koa.

Rehefa ampiasaina ny entona miaraka amin'ny fampisehoana mafy orina, dia ny fantsom-bary tsy misy ahiahy dia tsy maintsy ampiasaina amin'ny piping. Raha tsy izany, ny sodina dia hamoaka faritra feno ao anaty ao anatiny noho ny fanakorontanana, ary amin'ny tranga matotra, dia hisy faritra midadasika vy na fitrandrahana, izay handoto ny entona madio hizara.

Ny fifandraisan'ny fahadiovana avo sy ny fandefasan-tsolika avo lenta sy ny fandalinana sy ny fizarazarana ny saram-pitsarana lehibe.

Raha toro lalan'ny daholo izy rehetra dia voantso, ary ny fantsona ampiasaina dia takiana tsy hanana fiovana amin'ny fandaminana rehefa ampiharina ny fitrandrahana. Ny fitaovana miaraka amin'ny votoatin'ny karbonika dia iharan'ny fisian'ny rivotra amin'ny alàlan'ny fampiatoana, izay mahatonga ny firaisana ara-nofo ao anatiny sy ivelan'ny fantsona ary manimba ny fahadiovana sy ny fahadiovan'ny entona azo avy amin'ny entona.

Raha fintinina, ho an'ny entona fanaovan-tsolika avo lenta sy fandidiana entona manokana, dia ilaina ny mampiasa fitsaboana manokana momba ny setroka avo lenta, mba hanamboarana rafitra fantsom-bidy avo lenta (ao anatin'izany ny fantsona, ny felana, ny fitrandrahana gazy avo lenta.

Ny foto-kevitra ankapobeny momba ny teknolojia madio ho an'ny fifindrana sy ny fizahan-tany fizarana

Ny fifindran'ny vatana madio sy madio madio sy madio dia misy ny fepetra takiana na fanaraha-maso ny lafiny telo amin'ny entona entina ampitaina.

Fahadiovana entona: ny votoatin'ny rivo-piainana ao amin'ny Fahadiovana Ggas: Ny votoatin'ny rivo-piainana amin'ny entona, mazàna dia aseho ho isan-jaton'ny fahadiovan'ny entona, toy ny 99.9999%, ary koa ny tahan'ny fitrandrahana ara-pahombiazana PPM, PPB, ppt.

Maina: Ny habetsaky ny hamandoana ao anaty entona, na ny vola antsoina hoe mando, matetika dia aseho amin'ny lafiny ando, toy ny tsindry amin'ny atmosfera. C.

Fahadiovana: Ny isan'ireo singa voaloto ao anaty entona, habe amin'ny μm, firy ny hazavana / M3 hambara, ho an'ny rivotra mahery, matetika dia naseho tamin'ny lafiny maro / m3 ny trano tsy azo ihodivirana, izay manarona ny votoatin'ny solika.

Ny fanasokajiana haingam-pandeha: ny sombin-javatra mandoto, dia ny fametahana fantsona, ny fitafiana, ny sombin-javatra metaly, ny sombin-tsolika, ny phags ary ny hamandoana misy ny gas, sns.

a) singa lehibe - haben'ny sombin-javatra mihoatra ny 5μm

b) sombin-javatra - ny diamondra eo anelanelan'ny 0.1μm-5μ

c) singa ultra-micro - sombiny latsaky ny 0.1μm.

Mba hanamafisana ny fampiharana an'ity teknolojia ity, mba hahafahan'izy ireo ny fahatakarana ny haben'ny sombin-javatra sy ny tarika μm, ny sata misy sombin-javatra manokana dia omena ho fanondroana

Ity manaraka ity dia fampitahana ny singa manokana

Anarana / sombin-javatra sombiny (μm)

Anarana / sombin-javatra sombiny (μm) Anarana / habe sombin-javatra (μm)
Virus 0.003-0.0 Aerool 0.03-1 Aeroled Microdroplet 1-12
Fuel Nuklear 0.01-0.1 Paint 0.1-6 Manidina lavenona 1-200
Karbon mainty 0.01-0..3 Ny vovoka ronono 0.1-10 Pesticide 5-10
Resin 0.01-1 Bacteria 0.3-30 Vovoka 5-100
Setroka sigara 0.01-1 Vovoka fasika 0.5-5 Ny vovobony 10-15
Silicone 0.02-0.1 Pesticide 0.5-10 Ny volon'olombelona 50-120
Sira masira 0.03-0.5 Vovoka solifara mifantoka amin'ny 1-11 Sakafo an-dranomasina 100-1200

Fotoam-potoana: Jun-14-2022