Ny teknôlôjian'ny fantsona entona madio indrindra dia ampahany manan-danja amin'ny rafitra famatsiana entona madio indrindra, izay ny teknolojia fototra hanaterana ny entona madio ilaina amin'ny fampiasana ary mbola mitazona ny kalitaon'ny kalitao;Ny teknôlôjian'ny fantsona entona madio indrindra dia ahitana ny famolavolana marina ny rafitra, ny fifantenana ny fitaovana sy ny kojakoja, ny fananganana sy ny fametrahana ary ny fitsapana.Tao anatin'ny taona vitsivitsy izay, ny fepetra henjana bebe kokoa momba ny fahadiovana sy ny loto amin'ny entona madio indrindra amin'ny famokarana vokatra microelectronics asehon'ny faritra midadasika midadasika dia nahatonga ny teknolojia fantson'ny entona madio indrindra ho lasa miahiahy sy manantitrantitra.Ity manaraka ity dia topimaso fohy momba ny fantsona entona madio tsara avy amin'ny fisafidianana fitaovanaof fanorenana, ary koa ny fanekena sy ny fitantanana isan'andro.
Karazana entona mahazatra
Fanasokajiana ny entona mahazatra amin'ny indostrian'ny elektronika：
Gasy mahazatra(Gasy betsaka）hidrôzenina (H2), nitrogen (N2), oksizenina (O2), argon (A2), sns.
Gasy manokanadia SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,levitra,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,mpiara,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… sns.
Ny karazana gazy manokana dia azo sokajiana ho manimbamandatsa-dranomaso, misy poizinamandatsa-dranomaso, mora mirehitramandatsa-dranomaso, mora mirehitramandatsa-dranomaso, inertmandatsa-dranomaso, sns. Ny gazy semiconductor fampiasa matetika dia sokajiana toy izao manaraka izao.
(i) Mikororosy / misy poizinamandatsa-dranomaso: HCl , BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…sns.
(ii) Fahasalamanamandatsa-dranomaso: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO…sns.
(iii) fandoroanamandatsa-dranomaso: O2, Cl2, N2O, NF3… sns.
(iv) Inertmandatsa-dranomaso: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He…sns.
Betsaka ny gazy semiconductor manimba ny vatan'olombelona.Indrindra indrindra, ny sasany amin'ireo gazy ireo, toy ny SiH4 fandoroana ho azy, raha mbola misy leak dia mihetsika mahery vaika amin'ny oksizenina eny amin'ny rivotra ary manomboka may;ary ash3tena misy poizina, misy leakage kely mety hiteraka ain'olombelona, dia noho ireo loza miharihary ireo, ka ny fepetra takiana amin'ny fiarovana ny rafitra rafitra dia ambony indrindra.
Fampiharana ny gazy
Amin'ny maha-fitaovana fototra manan-danja amin'ny indostria maoderina, ny vokatra entona dia be mpampiasa, ary betsaka ny entona mahazatra na entona manokana ampiasaina amin'ny metallurgy, vy, solika, indostrian'ny simika, milina, elektronika, fitaratra, seramika, fitaovana fanorenana, fanorenana. , sehatra fanodinana sakafo, fanafody ary fitsaboana.Ny fampiharana ny entona dia misy fiantraikany lehibe amin'ny teknolojia avo lenta amin'ireo sehatra ireo indrindra indrindra, ary ny entona akora ilaina na ny entona fanodinana azy.Amin'ny filàna sy ny fampiroboroboana sehatra indostrialy vaovao isan-karazany sy ny siansa sy ny teknolojia maoderina, ny vokatra indostrian'ny entona dia azo amboarina amin'ny alàlan'ny karazany sy ny kalitao ary ny habetsahana.
Fampiharana entona amin'ny indostrian'ny microelectronics sy semiconductor
Ny fampiasana entona dia manana anjara toerana lehibe foana amin'ny fizotran'ny semiconductor, indrindra fa ny fizotran'ny semiconductor dia be mpampiasa amin'ny indostria isan-karazany, avy amin'ny ULSI nentim-paharazana, TFT-LCD mankany amin'ny indostrian'ny micro-electro-mechanical (MEMS) ankehitriny, ny rehetra izay mampiasa ny antsoina hoe dingana semiconductor ho toy ny dingana famokarana vokatra.Ny fahadiovan'ny entona dia misy fiantraikany lehibe amin'ny fanatanterahana ny singa sy ny vokatra vokatra, ary ny fiarovana ny famatsiana entona dia mifandray amin'ny fahasalaman'ny mpiasa sy ny fiarovana ny fiasan'ny orinasa.
Ny maha-zava-dehibe ny fantsona fanadiovana avo lenta amin'ny fitaterana entona madio tsara
Ao anatin'ny dingan'ny fandoroana vy sy ny fanaovana fitaovana, manodidina ny 200g ny entona azo alaina isaky ny taonina.Taorian'ny fanodinana ny Stainless vy, tsy ny ambonin'ny miraikitra amin'ny loto isan-karazany, fa koa ao amin'ny masontsivana metaly ihany koa nitroka entona sasany.Rehefa misy fikorianan'ny rivotra amin'ny fantsona, ny metaly mitroka io ampahany amin'ny entona io dia hiditra ao amin'ny fikorianan'ny rivotra indray, ka mandoto ny entona madio.Rehefa mikoriana tsy miato ny fikorianan'ny rivotra ao amin'ny fantsona, dia mikoriana ny entona eo ambanin'ny fanerena ny fantsona, ary rehefa mitsahatra ny fikorianan'ny rivotra, ny entona mipetaka amin'ny fantsona dia mamorona fihenan'ny tsindry mba hamahana, ary ny entona voavaha ihany koa dia miditra amin'ny entona madio ao anaty fantsona. toy ny loto.Mandritra izany fotoana izany, ny adsorption sy ny fanapahan-kevitra dia miverimberina, ka ny metaly eo amin'ny anatiny ambonin'ny fantsona ihany koa ny mamokatra ny habetsahan'ny vovoka, ary ny vovoka metaly poti dia mandoto ny entona madio ao anatin'ny fantsona.Ity toetran'ny fantsona ity dia tena ilaina mba hiantohana ny fahadiovan'ny entona entina, izay tsy vitan'ny hoe tsy vitan'ny hoe malefaka be loatra amin'ny faritra anatiny amin'ny fantsona, fa koa ny fanoherana avo lenta.
Rehefa ampiasaina ny entona manana fampisehoana mahery vaika, dia tsy maintsy ampiasaina ny fantsona vy tsy misy harafesina ho an'ny fantsona.Raha tsy izany, ny sodina dia hamokatra faritra harafesina eo amin`ny ambonin`ny anatiny noho ny harafesiny, ary amin`ny toe-javatra mafy, dia hisy faritra midadasika amin`ny fanalana metaly na perforation mihitsy aza, izay handoto ny entona madio hozaraina.
Ny fampifandraisana ny fifindran'ny entona madio sy madio ary fantsona fizarana amin'ny taham-pidirana lehibe.
Amin'ny ankapobeny, izy rehetra dia welded, ary ny fantsona ampiasaina dia tsy maintsy misy fiovana eo amin'ny fandaminana rehefa welding ampiharina.Ny fitaovana misy karbônina avo loatra dia iharan'ny permeability ny rivotra amin'ny faritra welded rehefa manao welding, izay mahatonga ny fifampidiran'ny entona ao anatiny sy ivelan'ny fantsona ary manimba ny fahadiovana, ny fahamainana ary ny fahadiovan'ny entona ampitaina, ka miteraka fatiantoka. ny ezaka rehetra ataontsika.
Raha fintinina, ho an'ny entona madio tsara sy fantsona fandefasana entona manokana, dia ilaina ny mampiasa fitsaboana manokana amin'ny sodina vy tsy misy fahadiovana avo lenta, mba hanaovana rafitra fantsom-pamokarana madio (anisan'izany ny fantsona, fitaovana, valves, VMB, VMP) amin'ny Ny fizarana entona madio indrindra dia mitana iraka lehibe.
Hevitra ankapoben'ny teknôlôjia madio ho an'ny fantsona fandefasana sy fizarana
Ny fifindran'ny vatana entona madio sy madio miaraka amin'ny fantsona dia midika fa misy fepetra na fanaraha-maso sasany amin'ny lafiny telo amin'ny entona entina.
Ny fahadiovan'ny entona: Ny votoatin'ny atmosfera loto ao amin'ny fahadiovan'ny gGas: Ny votoatin'ny atmosfera maloto ao amin'ny entona, matetika aseho ho isan-jaton'ny fahadiovan'ny entona, toy ny 99.9999%, dia aseho ihany koa amin'ny tahan'ny habetsaky ny votoatin'ny atmosfera loto ppm, ppb, ppt.
Fahamainana: ny habetsahan'ny hamandoana hita ao amin'ny entona, na ny habe antsoina hoe hamandoana, matetika aseho amin'ny lafin'ny ando, toy ny tosi-drivotry ny ando -70.C.
Fahadiovana: ny isan'ny poti-potaka ao anaty entona, ny haben'ny poti µm, ny isan'ny potikely/M3 haseho, ho an'ny rivotra voaporitra, matetika koa dia aseho amin'ny hoe firy mg/m3 amin'ny sisa tavela tsy azo ihodivirana, izay mandrakotra ny votoatin'ny solika. .
Fanasokajiana ny haben'ny fandotoana: poti-potaka mandoto, indrindra dia manondro ny famafazana fantsona, ny fitafy, ny harafesina ateraky ny poti-vy, ny poti-tsolika amin'ny atmosfera, ary koa ny zavamiaina bitika, phages sy ny hamandoana misy entona condensation droplets, sns, araka ny haben'ny habeny. dia mizara ho
a) Potika lehibe - haben'ny poti mihoatra ny 5μm
b) Particle - savaivony ara-nofo eo anelanelan'ny 0.1μm-5μm
c) Potika ultra-micro - haben'ny poti latsaky ny 0.1μm.
Mba hanamafisana ny fampiharana an'io teknôlôjia io, mba hahazoana fahatakarana ny haben'ny poti sy ny singa μm, dia misy andiana sata manokana omena ho fanondroana.
Ity manaraka ity dia fampitahana ny singa manokana
| Anarana / haben'ny singa (µm) | Anarana / haben'ny singa (µm) | Anarana/ Haben'ny singa (µm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Aerosolized microdroplet 1-12 |
| Solika nokleary 0.01-0.1 | Loko 0.1-6 | Lavenona 1-200 |
| Karbonina mainty 0.01-0.3 | Vovoka ronono 0.1-10 | Pesticides 5-10 |
| Resin 0.01-1 | Bakteria 0.3-30 | vovoka simenitra 5-100 |
| Setroka sigara 0.01-1 | vovoka fasika 0.5-5 | vovobony 10-15 |
| Silicone 0.02-0.1 | Pesticides 0.5-10 | Volon'olombelona 50-120 |
| sira kristaly 0.03-0.5 | Vovoka solifara mivondrona 1-11 | Fasika ranomasina 100-1200 |
Fotoana fandefasana: Jun-14-2022